1.超級反射鏡

　　在進行高精度檢測距離或時間的時候，常會用到Fabry–Pérot干涉儀，此類反射鏡的誕生就是為了提高Fabry–Pérot干涉儀的性能，在實際使用的過程中，超級反射鏡的反射率達到99.999%。在制作的過程中采用離子束濺射（IBS）鍍膜方式，從而獲得細密而無缺陷的高質量光學膜。由于基板和光學膜的散亂損失非常小，用其來構建法布里-珀羅腔，可以得到非常窄的光譜帶寬和高銳度。

　　2.飛秒激光用反射鏡

　　分低分散反射鏡和負分散反射鏡兩種：

　　低分散反射鏡在脈寬100 fs以下的超短脈沖激光中使用的波長分散也可以做到很小，通過考慮波長分散、波長范圍、激光損傷閾值的優化特殊膜系設計，可抑制多個反射鏡的反射引起的脈沖寬度變寬的影響。此類反射鏡也可用于飛秒時間分辨光譜裝置的光學系統或飛秒激光導入顯微鏡系統。需注意在光線以45°以外的角度入射時，可能無法做到波長分散補償；P偏光與S偏光相比，反射率變低，反射譜區變窄。

　　負分散反射鏡是用于波長分散為負的特殊反射鏡，主要用于飛秒激光諧振腔的分散補償，在諧振腔內，使光線在諧振腔內的兩枚負分散反射鏡之間往返數次，可以抵消諧振腔內的波長分散。需注意在使用的過程中光線入射角度需要在0-20°之間，在其他角度入射時可能無法做到分散補償。

　　3.電介質膜反射鏡

　　根據使用用途的不同會有差異，目前主要有強激光用電介質反射鏡、超帶寬電介質膜反射鏡和入射角可變激光譜線反射鏡。

　　①強激光用電介質膜反射鏡主要適用于高功率，脈沖Nd-YAG激光或準分子激光的光學系統。在YAG激光器中，用作從基波（1064 nm）到4次諧波（266 nm）的反射鏡，也用作ArF（193 nm），KrF（248 nm）的準分子激光的反射鏡；

　　②超帶寬電介質膜反射鏡，這類反射鏡在紫外譜區、可見光譜區和紅外譜區都有著高反射率，即使是在紫外和紅外譜區，也比一般金屬膜反射鏡要高；

　　③入射角可變激光譜線反射鏡，適用于邁克爾遜干涉儀或其他需要在兩面反射鏡之間反復多次反射的、入射角需要小于45°的光學系統中。當入射角固定時，可用的波長范圍較寬。